勻膠機(jī)是一種常見(jiàn)用于材料薄膜制備工藝的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，它的原理相對(duì)比較簡(jiǎn)單，利用電機(jī)高速旋轉(zhuǎn)時(shí)所產(chǎn)生的離心力使得試液或者膠液均勻地涂敷在基底材料的表面，可以“讓膠液均勻涂敷的機(jī)器”。

勻膠機(jī)有很多稱(chēng)謂，勻膠臺(tái)，旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)，旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)或者旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)等等，它的英文是 Spin Coater（旋轉(zhuǎn)涂膜的意思）。勻膠機(jī)既然是科研開(kāi)發(fā)上制備薄膜材料的方法之一，使用者對(duì)于該設(shè)備期待就在于其能夠“均勻”地涂敷試液或者膠液。

通常我們會(huì)用均一性和可重復(fù)性來(lái)衡量薄膜材料制備的好壞。國(guó)內(nèi)外對(duì)于這種勻膠旋涂設(shè)備的發(fā)展呈現(xiàn)出很大的差距。中國(guó)先開(kāi)展勻膠機(jī)研制的單位是中科院微電子所，推出的KW-4A型號(hào)的勻膠機(jī)，具有低速起步和高速旋轉(zhuǎn)兩個(gè)單位。

 CIF生產(chǎn)的勻膠機(jī)，  采用閉環(huán)控制伺服電機(jī)，數(shù)字式增速信號(hào)反饋，速勻準(zhǔn)確，壽命長(zhǎng)，保證勻膠的均一性。5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標(biāo)配10個(gè)勻膠梯度階段（速度和時(shí)間梯度設(shè)置），可選配10個(gè)可編程程序，每個(gè)程序下可設(shè)置10個(gè)勻膠梯度階段，z多100個(gè)階段。內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，保證旋涂均勻，可對(duì)大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。多重安全保護(hù):樣品托盤(pán)卡口和樣品托盤(pán)之間三重密封安全保護(hù)，有效降低電機(jī)進(jìn)膠的風(fēng)險(xiǎn)。一機(jī)兩用，根據(jù)

不同樣品可選真空吸盤(pán)和非真空卡盤(pán)兩種旋涂方式。不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤(pán)采用聚丙烯（NPP-H）材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行。上下雙腔體設(shè)計(jì)，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)便于收集膠液，并帶廢膠收集裝置。可選氮?dú)獯蹈伞⒌獨(dú)獗Ｗo(hù)，自動(dòng)滴膠或簡(jiǎn)易滴膠裝置，提供多種的操作便利性。適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。