產(chǎn)品簡介

BASIXX SB20 +是一款臺式半自動勻膠機系統(tǒng)，功能強大，具有勻膠、清洗、顯影和干燥等多種功能，樣品最大尺寸為8寸晶圓或者150mm*150mm方片，廣泛用于大學，研究所等科研實驗室。

產(chǎn)品特色

÷ 落地臺式機，結構緊湊，所有單元集成在一臺設備中，集成度高。

÷ 手動裝載/卸載

÷ 襯底最大可達?200mm(?8 inch)或150x150mm (6x6inch)

÷ 軟件提供用戶友好的操作

÷ 直驅(qū)旋涂電機

÷ 全軸電機驅(qū)動且完全可編程

÷ 帶安全中斷傳感器的透明蓋

÷ 外殼上有電源開關ON/OFF

÷ 工藝腔和可更換防濺環(huán)，易于拆卸以進行清潔。

÷ 系統(tǒng)材料為PP材質(zhì)，耐所有類型的抗蝕劑和溶劑以及各種清潔介質(zhì)。 

÷ 包括 0.5 升廢液瓶

 技術數(shù)據(jù)

÷ 襯底尺寸: 最大可達?200 mm (?8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

÷ 電機轉(zhuǎn)速: 最大10.000rpm,步長1rpm

÷ 電機加速: 最大4.000rpm/s

÷ 步進時間: 1 至999.9s，步長為0.1s

÷ 工藝腔材質(zhì): 由天然PP制成

÷ 系統(tǒng)架構材質(zhì): 由白色PP制成

÷ 液體線路：

3線: 2 x 24 V /最大1 Amp (每條)/觸發(fā)點 0.1秒-∞

5線: 6 x 24 V /最大1 Amp (每條)/觸發(fā)點 0.1秒-∞

選項 

÷  自動液體輸送臂    ÷  液體罐             ÷  防濺環(huán)

÷  廢液池             ÷  DI水沖洗        ÷  N2吹掃

÷  熱板               ÷  不同類型的夾具     ÷  中心定位模塊